石墨烯/砷化镓基HEMT异质结太赫兹探测器制备研究

目录

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第1章 绪论

1.1前言

1.2 基于石墨烯/砷化镓异质结构的毫米波/太赫兹波光电探测器

1.3 GaAs基HEMT制备研究

1.3.1 HEMT介绍

1.3.2二维电子气（2DEG） 概念

1.3.3典型的二维电子气（2DEG）

1.3.4二维电子气（2DEG）的能量

1.3.5二维电子气（2DEG）的能量状态

1.3.6 GaAs基的HEMT的工作原理

1.4 本文主要研究内容

第2章 太赫兹探测理论基础

2.1引言

2.2 太赫兹波段简介

2.3太赫兹探测器

2.4太赫兹光电探测器

2.4.1热探测器（Thermal detectors）

2.4.2Golay Cell

2.4.3热电探测器（Pyroelectric Detector）

2.4.4肖特基势垒二极管探测器（Schottky-Barrier-Diode Detectors）

2.4.5场效应太赫兹探测器（Field-Effect Terahertz Detector）

2.5 太赫兹成像

2.5.1 太赫兹透射成像

2.5.2 太赫兹反射成像

2.5.3线性阵列探测器

2.6本章小结

第3章 石墨烯-砷化镓异质结构光电探测器

3.1引言

3.2器件结构与制备工艺

3.3 测试结果及分析

3.3.1基础性能测试

3.3.2微波性能测试

3.3.3太赫兹测试

3.3.4探测机理讨论

3.4本章小结

第4章 砷化镓基HEMT异质结太赫兹探测器

4.1 引言

4.2 器件的介绍及制备工艺

4.2.1器件结构

4.2.2制备工艺

4.3 测试结果及分析

4.3.1 HEMT基本电学性能测试

4.3.2 HEMT光响应测试

4.4本章小结

第5章 结论与展望

5.1结论

5.2 展望

参考文献

攻读学位期间取得的研究成果

致谢