以DSP处理器为核心的新型图形发生器实用化研究

摘要

该论文介绍了扫描电子束曝光机图形发生器的总体方案、系统设计、硬件实现和软件编程等,提出了一套完整的图形发生器硬件方案,并完成了图形发生器接口的设计.该论文中的新型图形发生器由接口电路、双端口存储电路、数字信号处理电路、数模转换电路、曝光/标记检测控制电路、标记检测电路、最终曝光数据寄存器单元和束闸控制电路构成.论文研究了TI的通用型浮点数字信号处理器TMS320VC33的功能，根据课题的需要和DSP处理器的特点及结构，从硬件方面对图形发生器的数字信号处理单元进行了研究.

目录

文摘

英文文摘

第一章 扫描电子束曝光技术综述

1.1 引言

1.2微细加工技术

1.3电子束曝光技术的发展

1.4扫描电子束曝光技术

第二章课题背景和意义

2.1课题背景

2.1.1IBM改良图形发生器方案

2.1.2并行DSP处理器方案

2.2课题意义

2.3课题任务

第三章 图形发生器的总体方案设计

3.1图形发生器的主要设计指标

3.2系统的总体方案

第四章 图形发生器硬件设计

4.1数字信号处理单元

4.1.1数字信号处理单元的结构

4.1.2数字信号处理器TMS320VC33

4.1.3 TMS320VC33地址分配

4.1.4 TMS320VC33管脚连接

4.1.5 Boot Loader功能

4.1.6 DSP速度的考虑

4.2双端口存储器电路

4.3接口电路设计

4.3.1 USB接口协议

4.3.2 USB总线特点

4.3.3 USB总线传输

4.3.4 USB相关术语

4.3.5 PDIUSBD12接口芯片

4.3.6接口实现方案[13]

4.3.7 PDIUSBD12硬件连接方式

4.3.8 PDIUSBD12和P89C51RD2HBP的管脚连接

4.4曝光/标记检测控制单元

4.5最终曝光数据寄存器单元

4.6标记检测单元

4.7束闸控制单元

4.8数模转换单元

4.9图形发生器的工作过程

第五章 软件设计

5.1上位机软件设计

5.1.1USB的驱动设计

5.1.2上位机程序结构

5.1.3 程序流程图

5.2 USB固件程序

5.2.1USB固件结构

5.2.3 PDIUSBD12端点功能

第六章 实验

6.1逻辑仿真

6.2设备安装

6.3数据读写测试

第七章结论

7.1本课题的特点

7.2本课题的进展和突破

7.2.1课题进展

7.2.2课题突破

7.3课题的深入研究

参考文献

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