声明
摘要
第一章绪论
1.1研究背景及意义
1.2国内外发展现状
1.2.1光滤波器
1.2.2 AWG的发展现状
1.2.3热光开关的发展现状
1.4本文主要工作与创新点
第二章平面光波导理论
2.1平板波导
2.2矩形波导
2.2.1马卡提里(Marcatili)法
2.2.2等效折射率法
2.3本章小结
第三章基于平面光波导的深紫外AWG器件
3.2 AWG的性能指标
3.2.1插入损耗
3.2.2串扰
3.2.3 3dB带宽
3.2.4中心波长的偏差量
3.2.5温度相关性
3.3.1光波导材料的选择
3.3.2光波导尺寸的选择
3.3.3光波导结构的设计
3.4AWG的参数设计
3.4.1设计要求
3.4.2 AWG的参数列表
3.5AWG的仿真结果及分析
3.5.1 AWG的优化
3.5.2AWG的工艺容差分析
3.6本章小结
第四章基于平面光波导的光开关
4.1光开关的基本原理
4.1.1热光效应
4.1.2热光开关的工作原理
4.2 MZI热光开关的设计
4.2.1 MZI热光开关的结构设计
4.2.2.MZI热光开关的仿真及分析
4.3 MZI热光开关的容差分析
4.3.1芯包折射率差对热光开关性能的影响
4.3.2波导宽度对热光开关性能的影响
4.3.3波导厚度对热光开关性能的影响
4.4 AWG和MZI热光开关的集成
4.5本章小结
第五章总结与展望
5.1工作总结
5.2工作展望
致谢
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
山东大学;