光学非球面扫描干涉测量方法精度验证关键技术研究

目录

声明

1绪论

1.1 研究背景

1.2 国内外非球面测量技术进展

1.2.1 常用非球面面形检测方法

1.2.2 轴向扫描光干涉法国内外历史及现状

1.3 本文的主要研究内容

2 轴向扫描光干涉系统原理

2.1 非球面光学元件基本概念

2.1.1 非球面的数学表征

2.1.2 非球面几何参数

2.2 轴向扫描光干涉系统原理

2.2.1 扫描路径划分原理

2.2.2 四步移相法基本原理

2.2.3 Zernike多项式拟合波面原理

2.2.4 计算机辅助装调算法原理

2.2.5 传统矢高重建原理

2.2.6 矢高重建原理的改进研究

2.3 本章总结

3 轴向扫描光干涉系统设计

3.1 轴向扫描光干涉系统硬件设计

3.1.1 斐索干涉系统

3.1.2 四维架控制系统

3.1.3 微位移精密控制系统

3.2 轴向扫描光干涉系统软件设计

3.2.1 非球面参数分析及移动序列生成

3.2.2 轴向移动姿态调整及数据采集

3.2.3 矢高数据处理

3.2.4 波面数据分析

3.3 本章总结

4 轴向扫描光干涉系统精度验证

4.1 验证方案分析与制定

4.1.1 方案分析

4.1.2 验证内容

4.2 无像差点法检测抛物面

4.2.1 辅助反射镜面形检测

4.2.2 待测抛物面面形检测

4.3 轴向扫描光干涉法检测抛物面

4.3.1 轴向扫描光干涉系统实验装置

4.3.2 轴向扫描光干涉系统检测抛物面检测步骤

4.3.3 检测结果

4.4 精度验证与重复性精度验证

4.4.1 轴向扫描光干涉系统精度验证

4.4.2 轴向扫描光干涉系统重复性精度验证

4.5 本章总结

5 总结与展望

5.1 全文总结

5.2 有待解决的问题

致谢

参考文献

附录