声明
第1章 绪 论
1.1 光学塑料的发展和种类
1.2 光学薄膜沉积技术
1.2.1 化学气相沉积
1.2.2 物理气相沉积
1.2.3 溶胶-凝胶法
1.3 国内外研究现状
1.4 课题主要研究内容
第2章 光学薄膜基础理论
2.1 薄膜光学理论
2.1.1 多层膜理论
2.1.2 金属-介质高反射膜理论
2.2 薄膜生长理论
2.2.1 薄膜生长模型
2.2.2 电子束蒸发生长的薄膜结构
2.3 本章小结
第3章 薄膜材料的研究
3.1 薄膜的应力
3.1.1 薄膜应力性质及产生机理
3.1.2 薄膜应力计算公式
3.1.3 薄膜热应力
3.2 薄膜材料的选择
3.2.1 高折射率材料的研究
3.2.2 低折射率材料的研究
3.3 薄膜材料光学常数的计算
3.4 本章小结
第4章 薄膜的设计与制备
4.1 膜系设计方案
4.1.1 Al膜的厚度
4.1.2 介质膜的设计
4.2 镀膜设备简介
4.3 离子辅助沉积技术
4.4 沉积工艺的研究
4.4.1 PC的表面改性
4.4.2 真空度
4.4.3基底温度
4.4.4沉积速率
4.5薄膜制备
4.6 本章小结
第5章 测试分析与工艺改进
5.1可靠性测试
5.1.1牢固度测试
5.1.2水煮测试
5.1.3恒温恒湿测试
5.1.4 其他可靠性测试
5.2 光谱测试
5.3工艺重复性的研究
5.4本章小结
第6章 总 结
6.1 主要工作总结
6.2创新点说明
6.3不足与展望
参考文献
攻读硕士期间的学术成果
致谢
长春理工大学;
