MOCVD预制催化法制备超黑吸光碳纳米管阵列的工艺研究

目录

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第一章 绪论

1.1 碳纳米管概述

1.2 制备垂直定向碳纳米管阵列的催化剂研究

1.2.1 催化剂种类

1.2.2 催化剂制备工艺

1.2.3 预处理工艺对催化剂结构与性能的影响

1.2.4 缓冲层对催化剂结构与性能的影响

1.3 碳纳米管阵列在吸光领域的研究现状

1.3.1 碳纳米管阵列的吸光机理

1.3.2 碳纳米管吸光材料研究现状

1.4 本论文的研究意义及内容

第二章 实验方法及过程

2.1 实验试剂仪器与材料

2.2 实验部分

2.2.1 实验流程图

2.2.2 基底清洗

2.2.3 电子束蒸镀氧化铝缓冲层

2.2.4 MOCVD工艺制备催化剂

2.2.5 TCVD工艺制备碳纳米管阵列

2.2.6 气路及石英管清洗

2.3 测试与表征

第三章 MOCVD制备纳米铁颗粒催化剂的研究

3.1 二茂铁蒸发及沉积工艺的研究

3.2 MOCVD工艺对纳米铁颗粒催化剂的影响研究

3.2.1 纳米铁催化剂的形貌与尺寸

3.2.2 预处理工艺对纳米铁颗粒催化剂形貌的影响研究

3.3 水蒸气辅助MOCVD工艺对纳米铁颗粒催化剂结构的影响

3.4 MOCVD制备纳米铁颗粒催化剂过程的CFD计算模拟

3.4.1 CFD计算模拟MOCVD过程的研究背景

3.4.2 模型建立及参数设定

3.4.3 CFD模拟结果与分析

3.5 本章小结

第四章 垂直定向碳纳米管阵列的可控制备研究

4.1 引言

4.2 反应条件对碳纳米管阵列组织形貌的影响

4.2.1 生长温度对碳纳米管阵列组织形貌的影响

4.2.2 MOCVD工艺制备的催化剂对碳纳米管阵列的影响

4.2.3 WAMOCVD工艺制备的催化剂对碳纳米管阵列的影响

4.2.4 碳/氢气体流量比例对碳纳米管生长过程的影响

4.3 碳纳米管阵列生长机制

4.4 碳纳米管阵列吸光性能

4.5 本章小结

结 束 语

致谢

参考文献

作者在学期间取得的学术成果