BFO/BCZT异质复合薄膜的脉冲激光沉积及其电学性能研究

目录

声明

第1章 绪论

1.1 BFO薄膜的研究现状

1.1.1 BFO的晶体结构

1.1.2 BFO薄膜的电学性能

1.1.3 BFO薄膜的漏电流控制

1.2 BCZT薄膜的研究现状

1.2.1 BCZT薄膜晶体结构

1.2.2 BCZT薄膜的电学性能

1.3 本论文的研究目的与研究内容

第2章 实验与测试

2.1 实验原料

2.1.1 靶材

2.1.2 衬底

2.2 实验工艺与方法

2.2.1 工艺流程

2.2.2 实验方法与设备

2.3 测试与表征

2.3.1 物相分析

2.3.2 微观形貌

2.3.3 铁电性能

2.3.4 介电性能

2.3.5 压电性能

第3章 BFO薄膜的结构控制与性能优化

3.1 衬底温度对薄膜结构与电学性能的影响

3.1.1 衬底温度对薄膜物相结构的影响

3.1.2 衬底温度对薄膜表面形貌的影响

3.1.3 衬底温度对薄膜电学性能的影响

3.2 激光能量密度对薄膜结构与电学性能的影响

3.2.1 激光能量密度对薄膜物相结构的影响

3.2.2 激光能量密度对薄膜表面形貌影响

3.2.3 激光能量密度对薄膜电学性能的影响

3.3 氧分压对薄膜结构与电学性能的影响

3.3.1 氧分压对薄膜物相结构的影响

3.3.2 氧分压对薄膜表面形貌的影响

3.3.3 氧分压对薄膜电学性能的影响

3.3.4 氧分压对薄膜漏电机制的影响

3.4 本章小结

第4章 BCZT薄膜的结构控制与性能优化

4.1 衬底温度对BCZT薄膜的影响

4.1.1 衬底温度对薄膜物相结构的影响

4.1.2 衬底温度对薄膜表面形貌的影响

4.2 激光能量密度对BCZT薄膜的影响

4.2.1 激光能量密度对薄膜物相结构的影响

4.2.2 激光能量密度对薄膜表面形貌的影响

4.3 氧分压对BCZT薄膜的影响

4.3.1 氧分压对薄膜物相结构的影响

4.3.2 氧分压对薄膜表面形貌的影响

4.3.3 氧分压对薄膜电学性能的影响

4.4 本章小结

第5章 BFO/BCZT异质复合薄膜的构筑与电学性能

5.1 异质复合薄膜的构筑与表征

5.2 异质复合薄膜的电学性能

5.3 本章小结

第6章 结论

致谢

参考文献

攻读硕士期间发表论文情况