第1 章 绪 论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.1.1 课题背景
1.1.2 研究目的及意义
1.2 高气压等离子体应用及诊断的发展国内外发展概况
1.2.1 高气压等离子体的研究概况
1.2.2 等离子体诊断的研究概况
1.2.3 国内外文献综述的简析
1.3 本文的主要研究内容
第2 章等离子体诊断技术以及实验装置
2.1 等离子体探针诊断技术
2.1.1 传统探针诊断技术
2.1.2 高气压等离子体探针诊断技术
2.2 等离子体光谱展宽诊断技术
2.2.1 多普勒展宽简介
2.2.2 气压展宽简介
2.2.3 Stark 展宽简介
2.3 等离子体的产生装置
2.3.1 中等气压范围辉光放电装置
2.3.2 微放电等离子体产生装置
2.4 本章小结
第3 章碰撞等离子体的探针诊断结果
3.1等离子体的放电特性曲线以及探针I-V曲线
3.1.1 微放电等离子体的特性曲线
3.1.2 等离子体探针诊断的I-V 曲线
3.2低气压等离子体的探针诊断结果
3.2.1 等离子体的电子分布函数诊断
3.2.2 等离子体参数诊断
3.3 高气压等离子体诊断
3.3.1 朗缪尔方法诊断高气压等离子体
3.3.2 Bhom 判据诊断高气压等离子体电子温度
3.3.3 分布函数法参数诊断等离子体参数
3.3.4 高气压等离子体的电子分布函数诊断
3.4 本章小结
第4 章光谱诊断微放电等离子体
4.1 等离子体中的光谱展宽线型
4.2 等离子体中的展宽计算
4.2.1 多普勒展宽计算
4.2.2 共振展宽计算
4.2.3 范德瓦尔斯展宽计算
4.2.4 Stark 展宽计算
4.3 等离子体密度诊断
4.3.1 He 谱线实验观测
4.3.2 微放电等离子体密度
4.4 本章小结
第5 章等离子体中的快电子分析
5.1 碰撞电子能谱中的快电子来源
5.1.1 等离子体中的碰撞电离反应
5.1.2 非局域等离子体简介
5.2 碰撞电子能谱
5.2.1 碰撞电子能谱简介
5.2.2 低气压等离子体中的碰撞电子能谱
5.2.3 微放电纯氦气等离子体的电子能谱
5.2.4 微放电杂质气体放电等离子体的电子能谱
5.3 杂质气体放电等离子体的发射光谱
5.4 本章小结
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果
声明
致 谢
哈尔滨工业大学;
