第1章绪论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.2.1 超精密机床的研究现状
1.2.2 机床动态特性研究现状
1.2.3 超精密机床主轴动态特性研究现状
1.2.4 直线进给系统动态特性研究现状
1.2.5 机床多轴耦合动态特性研究现状
1.3 本文的主要研究内容
第2章超精密机床主轴与进给系统结构动态特性分析
2.1 引言
2.2.1 主轴结构分析
2.2.2 导轨结构分析
2.3.1 模态分析理论简介
2.3.2 主轴转子模态分析
2.3.3 静压导轨系统模态分析
2.4 主轴与导轨的谐响应分析
2.4.1 主轴转子谐响应分析
2.4.2 静压导轨系统谐响应分析
2.5 本章小结
第3章超精密机床主轴与进给系统机电联合仿真分析
3.1 引言
3.2 机电联合仿真建模流程
3.3 主轴伺服系统的设计与仿真
3.3.1 力矩电机直驱静压主轴的数学模型
3.3.2 主轴伺服系统的设计
3.3.3 主轴伺服系统的 Simulink仿真
3.4.1 直线电机构成及工作原理
3.4.2 进给系统伺服控制方式
3.4.3 进给系统伺服仿真
3.5 本章小结
第4章超精密机床主轴-进给系统耦合特性分析
4.1 引言
4.2 主轴-进给系统的垂直布局及特点分析
4.3.1 垂直布局对重心驱动的影响
4.3.2 直线电机推力波动与主轴系统转动不平衡的耦合
4.3.3 主轴-进给系统的动态耦合模型
4.4.1 主轴-进给系统模态分析
4.4.2 主轴-进给系统轴间耦合分析
4.5 主轴-进给系统耦合振动的抑制
4.6 本章小结
结 论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文及其他成果
声明
致谢
哈尔滨工业大学;