样品表面倾斜对AFM纳米压痕表征精度的影响

目录

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第1章 绪论

1.1 课题背景及研究意义

1.2 纳米压痕表征方法的发展概述

1.2.1 纳米压痕表征方法的理论发展历程

1.2.2 纳米压痕表征方法的设备发展历程

1.3 AFM和纳米压痕仪在纳米压痕表征中的差异

1.4 样品表面倾斜对纳米压痕影响的国内外研究现状

1.5 本课题的主要研究内容

第2章 数学计算模型与压入参数对AFM纳米压痕表征精度的影响分析

2.1 引言

2.2 常用的接触力学模型

2.2.1 Sneddon解

2.2.2 Oliver＆Pharr模型

2.2.3 Hertz模型

2.3 计算模型选取的理论分析

2.4.1 初步对比模型的计算结果

2.4.2 AFM纳米压痕实验参数的选择

2.4.3 AFM纳米压痕的计算模型确定

2.4.4 AFM纳米压痕法的重复性精度分析

2.5 本章小结

第3章 样品表面倾斜对AFM纳米压痕压入过程的影响分析

3.1 引言

3.2.2 圆锥形压针

3.2.2 玻氏压针

3.2.3 探针压入倾斜表面对Hertz模型拟合的影响

3.2.4 AFM特有结构下倾斜表面对横向力和悬臂梁扭矩的影响

3.3.1 实验台的水平检测

3.3.2 实验样品的制备

3.3.4 AFM纳米压痕实验和结果分析

3.4 本章小结

第4章 提高倾斜面上的AFM纳米压痕表征精度的方法

4.1 引言

4.2.1 实验校正的原理

4.2.2 实验校正的方案设置

4.2.3 实验校正的结果分析

4.3.1 构建经验模型的思路

4.3.2 经验模型对倾斜面上AFM纳米压痕法的修正效果分析

4.4.1 程序编写

4.4.2 程序计算的精度分析

4.5 本章小节

结论

参考文献

附录

致谢