第1章 绪 论
1.1课题研究背景和意义
1.2国内外研究现状概述
1.2.1单晶硅的纳米压痕
1.2.2单晶硅的抛光
1.2.3单晶硅在抛光过程中的脆-韧性转变
1.3课题来源
1.4论文的主要研究内容
第2章 三体磨粒纳米压痕单晶硅的数值研究
2.1引言
2.2三体纳米压痕单晶硅的分子动力学模型
2.2.1三维分子动力学模型建立
2.2.2势函数的选择
2.3三体磨粒在不同自转速度下压痕单晶硅的结果讨论
2.3.1工件内应力变化
2.3.2工件原子相变分析
2.3.3硅原子的金刚石结构分析
2.3.4工件内势能及温度分析
2.3.5压痕曲线分析
2.4本章小结
第3章 三体磨粒在单层石墨烯润滑下抛光单晶硅的数值研究
3.1引言
3.2三体磨粒在单层石墨烯润滑下抛光单晶硅的的原子模型
3.2.1分子动力学模型建立
3.2.2势函数的选择
3.3三体磨粒在单层石墨烯润滑下抛光单晶硅的的结果讨论
3.3.1工件原子相变及位错对比分析
3.3.2工件内应力对比分析
3.3.3工件势能及温度对比分析
3.3.4摩擦系数及表面形貌分析
3.4石墨烯在三体磨料抛光过程中的原子尺度模拟润滑效果
3.4.1工件原子相变及位错对比分析
3.4.2表面形貌及摩擦系数对比分析
3.4.3工件势能及温度对比分析
3.4.4工件内应力对比分析
3.5本章小结
第4章 激光纳米结构化磨粒三体抛光单晶硅的数值研究
4.1引言
4.2纳米结构化金刚石磨粒三体抛光的原子模拟及势函数选用
4.3纳米结构化金刚石磨粒三体抛光的结果及讨论
4.3.1原子配位数及共临近分析
4.3.2亚表面区域应力分析
4.3.3工件损伤原子分析
4.3.4工件表面形貌分析
4.3.5工件亚表面温度分析
4.3.6抛光力及摩擦系数分析
4.4理论模型
4.5本章小结
第5章 总结与展望
5.1主要研究成果
5.2工作展望
致谢
参考文献
附录A 硕士期间发表的学术论文与研究成果
附录B 硕士期间参与的项目与获奖情况
声明
贵州大学;
