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目录
1 绪 论
1.1研究背景、目的与意义
1.2 纳米位移测量技术现状
1.3 大量程纳米级位移传感器发展趋势
1.4 研究的内容
2 纳米时栅工作原理与理论分析
2.1 时空转换理论概述
2.2传感器结构模型
2.3传感器工作原理
2.4传感器数学模型与误差分析
2.5传感器实验系统设计要求
3 超精密定位工作台设计与优化
3.1 引言
3.2 传统定位系统的结构与工作方式
3.3 气浮导轨定位系统结构及工作方式
3.4 控制器工作原理
3.5 气浮导轨系统精度检测
3.6 小结
4 纳米时栅实验基座设计与优化
4.1 引言
4.2实验基座方案一
4.3实验基座方案二
4.4实验基座方案三
4.4实验基座方案四
4.5 小结
5 纳米时栅传感器实验激励信号设计与优化
5.1 引言
5.2 虚拟仪器技术
5.3 数据采集卡及软件配置
5.4 激励信号发生器的设计
5.5 小结
6 实验验证与分析
6.1 引言
6.2 实验系统的搭建
6.3 稳定性的观察实验
6.4 纳米时栅几何位置参数分析与实验
6.5 纳米时栅大行程精度实验
6.5 小结
7 总结与展望
7.1 总结
7.2 展望
参考文献
致谢
个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果
在学期间尚未发表但已被录用的学术论文
重庆理工大学;