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目录
第一章 绪论
1.1 研究的背景及意义
1.2国内外研究现状及进展
1.3研究内容
第二章 TaN薄膜制备及性能研究
2.1实验过程
2.2 氮流量对Al掺杂TaN薄膜微结构和电性能的影响
2.3退火工艺条件对TaN薄膜微结构和电性能的影响
2.4 本章小结
第三章 K波段微波功率匹配负载的设计及制备
3.1 微波功率匹配负载基本理论
3.2 K波段微波功率匹配负载的设计与仿真
3.3 K波段微波功率匹配负载的制备及测试
3.4 本章小结
第四章 阵列型微波功率匹配负载的研究
4.1 匹配负载微波性能与功率负载能力的相互限制
4.2 阵列型微波功率匹配负载基本理论
4.3 阵列型微波功率匹配负载的设计与仿真
4.4 阵列型微波功率匹配负载的制备及测试
4.5 本章小结
第五章 结论与展望
5.1 结论
5.2 展望
致谢
参考文献
攻硕期间取得的研究成果
电子科技大学;