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目录
第一章 引言
1.1 纳机电系统概述
1.2 石墨烯概述
1.3 纳机电谐振器发展动态
1.4 本文主要工作
第二章 纳机电谐振器的物理机理与特性研究
2.1 纳机电谐振器的基本原理
2.2 各个物理量对纳机电谐振器谐振频率的影响
2.3 石墨烯/氧化石墨烯(G/GO)梁理论分析
2.4 纳机电谐振器的偏置电压Vgs对谐振频率的影响
2.5 本章小结
第三章 纳机电谐振器的机电效应分析
3.1 顶栅结构的G-FET高频工作特性的分析
3.2 纳机电谐振器的高频场效应等效电路模型分析
3.3 纳机电谐振器的场效应模型与梁振动模型关联研究
3.4 石墨烯纳机电谐振器RCT模型拟合仿真
3.5 石墨烯/氧化石墨烯(G/GO)梁纳机电谐振器仿真
3.6 本章小结
第四章 石墨烯纳机电谐振器的制备工艺和检测方法
4.1 石墨烯的制备和转移
4.2 氧化石墨烯的制备和构形
4.3 电极与G/GO梁的实现研究
4.4 纳机电谐振器的制备工艺
4.5 石墨烯纳机电谐振器的检测方法
4.6 本章小结
第五章 结论
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间取得的成果