半导体单晶硅电火花型孔加工及变质层去除研究

著录项

• 作者

  陈浩然;

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• 作者单位

  南京航空航天大学;

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• 授予单位 南京航空航天大学;
• 学科 机械制造及其自动化
• 授予学位 博士
• 导师姓名 刘志东;
• 年度 2018
• 页码
• 总页数
• 原文格式 PDF
• 正文语种 中文
• 中图分类 地下建筑;
• 关键词

  半导体单晶硅; 花型; 孔加工; 变质;