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目录
第一章 绪论
1.1多孔硅的概述
1.2生物芯片的概述
1.3多孔硅在生物传感器中的应用
1.4论文概要及研究意义
1.5论文的研究内容
第二章 微阵列芯片及多孔硅的制备
2.1介绍
2.2微阵列芯片的制备流程
2.3多孔硅的发光机理
2.4多孔硅的制备
2.5多孔硅一维光子晶体结构
2.6小结
第三章 多孔硅布拉格反射镜的微阵列芯片的检测
3.1介绍
3.2实验部分
3.3多孔硅布拉格反射镜微阵列光学特性分析系统
3.4用数字图像显示阵列单元亮度
3.5小结
第四章 多孔硅微腔的微阵列芯片的折射率变化检测
4.1介绍
4.2多孔硅微腔的微阵列制作
4.3多孔硅微腔微阵列芯片光学特性分析系统
4.4用数字图像显示阵列单元亮度
4.5结果分析
4.6小结
第五章 总结和展望
5.1 结论
5.2创新点
5.3 展望
参考文献
硕士期间工作成果
致谢
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