封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
1 绪 论
1.1课题来源
1.2课题目的及意义
1.3 低反射与超疏水表面制备的研究现状
1.4 本文主要研究内容
2 低反射超疏水表面机理研究及仿真分析
2.1 薄膜减反射机理
2.2 微结构减反射机理研究与光学仿真
2.3 固体表面疏水机理
2.4 本章小结
3 多功能微纳结构表面的湿法腐蚀制备方法
3.1 纳米线形成机理
3.2 实验步骤
3.3 表面结构检测及分析
3.4 光学特性分析
3.5 疏水性测量及分析
3.6 本章小结
4 基于自组装单层纳米粒子制备微纳结构的方法
4.1 单层纳米粒子的自组装工艺
4.2 RIE刻蚀及磁控溅射镀膜工艺
4.3 金属催化化学刻蚀
4.4 反射率测试
4.5 本章小结
5 工作总结与展望
5.1 全文总结
5.2 工作展望
致谢
参考文献
附录I 攻读硕士学位期间发表的学术论文