声明
1 绪 论
1.1 引言
1.2 非线性微纳结构
1.2.1 金属微纳结构
1.2.2 金属-介质混合结构
1.2.3 全介质微纳结构
1.3 本文研究内容与章节安排
1.4 本章小结
2 基本原理
2.1 非线性光学的基本原理
2.1.1 非线性光学的物理解释
2.1.2 非线性介质的麦克斯韦方程
2.1.3 三次谐波
2.2 法诺谐振与硅基光子晶体平板
2.2.1 法诺谐振
2.2.2 硅光子晶体平板
2.3 本章小结
3 硅光子晶体平板的设计与软件仿真
3.1 电磁场仿真介绍
3.2 硅光子晶体平板的仿真
3.3 本章小结
4 硅光子晶体平板的制备与表征
4.1 制作工艺
4.1.1 制作设备简介
4.1.2 工艺流程简介
4.2 硅光子晶体平板的表征
4.2.1 硅光子晶体平板的电镜表征
4.2.2 硅光子晶体平板的透射谱测试
4.3 本章小结
5 三倍频测试
5.1三倍频测试系统
5.2 测试结果分析
5.3本章小结
6 全文总结与展望
6.1 本文总结
6.2 工作展望
致谢
参考文献
附录1 攻读硕士期间发表论文目录
附录2论文中英文缩略词简表
