声明
1 绪 论
1.1 课题来源
1.2 课题背景和意义
1.3 国内外研究现状
1.3.1 硬质热式流速传感器
1.3.2 柔性热式流速传感器
1.4 本文主要研究内容
2 热式流速传感器理论建模和仿真
2.1 传感器检测原理类型及比较
2.2 传感器结构设计
2.3 传感器热特性理论建模
2.3.1 热特性数学模型建立
2.3.2 尺寸参数与灵敏度关系
2.4 传感器有限元仿真
2.4.1 热-流耦合仿真模型建立
2.4.2 传感器尺寸参数确立
2.5 本章小结
3 热式流速传感器制备
3.1 传感器材料选择
（1）热敏单元材料
（2）基底材料
（3）覆盖层材料
3.2 传感器工艺制备
3.2.1 掩模版设计
3.2.2 工艺制作流程
3.2.3 传感器实物
3.3 传感器关键工艺技术
3.3.1 热敏单元和引线通孔连接技术
3.3.2 热敏单元退火增强技术
3.3.3 热敏单元通电老化增强技术
3.4 传感器制造工艺参数优化
3.4.1 磁控溅射功率
3.4.2 磁控溅射衬底温度
3.4.3 磁控溅射压强
3.5 本章小结
4 热式流速传感器测试系统设计
4.1 传感器测试系统整体设计
4.2 传感器硬件系统设计
4.2.1 电源升压电路
4.2.2 恒温差控制电路
4.2.3 测量调理电路
4.2.4 系统整体PCB设计
4.3 传感器软件系统设计
4.3.1 流速流向解析算法
4.3.2 基于LabVIEW采集处理软件设计
4.4 传感器特征参数测试
4.4.1 传感器响应时间
4.4.2 传感器灵敏度和量程
4.4.3 传感器重复性
4.4.4 传感器稳定性
4.5 本章小结
5 热式流速传感器风洞应用验证
5.1 试验设备与试验装置
5.1.1 试验设备
5.1.2 试验装置
5.2 流速流向验证试验
5.3 试验结果分析
（1）流速精度
（2）流向精度
5.4 本章小结
6 总结与展望
6.1 全文总结
6.2 工作展望
致谢
参考文献
附录 攻读硕士学位期间研究成果目录
