文摘
英文文摘
第一章绪论
1.1超精密加工技术现状及关键技术研究
1.2超精密加工技术的未来发展趋势
1.3本课题提出及论文总体安排
第二章大进给力纳米级驱动部件系统试验分析与设计
本章摘要
2.1超精密加工中微位移机构分析
2.2基于热变形的主动补偿方案设计
2.3热驱动部件系统的试验平台分析设计
2.4本章小结
第三章热驱动部件温度场测控系统设计
本章摘要
前言
3.1虚拟仪器思想应用
3.2温度场测控系统总体设计
3.3温度场测控系统各关键模块的介绍
3.4本章小结
第四章热驱动部件温度场半反馈控制研究
本章摘要
前言
4.1热驱动部件温度场数学模型建立
4.2热变形件温度场和位移输出之间关系分析
4.3热驱动部件温度场控制算法研究及试验分析
4.4本章小结
第五章热驱动部件在纳米级进给系统中应用研究
本章摘要
5.1基于热驱动部件纳米级加工系统仿真软件构架
5.2纳米级进给系统的关键部件模型建立和算法分析
5.3 VC与Matlab混合编程技术
5.4本章小结
第六章结论和展望
参考文献
攻读硕士学位期间完成的科研论文及其成果
致谢