超大规模集成电路寄生参数提取研究

摘要

随着VLSI(超大规模集成电路)工艺水平的不断提高，芯片内部布线的电磁串扰已经成为不可忽视的影响芯片性能的因素，而这其中又以电源网络的分析最为重要。在分析电源网格受到串扰噪声影响时，首先需要尽量精确快速的根据几何尺寸提取电路参数电阻(R)、电容(C)、电感(L)。由于电阻采用公式计算的误差在工程应用中可以接受，本文主要针对电容和电感参数的提取进行研究。 本文首先研究了电容参数的数值方法，以及在数值方法上应用一种Divide&Conquer的方法进行了程序的实现。随后针对电容参数提取的库查找法进行了研究，对已有的库查找法进行了补充，并在研究的基础上用代码加以实现。最后对电感进行研究，同样用程序实现了一种基于L的逆矩阵，K方法的Inductwise方法，并制作成为一个小型的电路参数分析器。