基于可制造性设计的物理设计规则的研究

摘要

本文从集成电路物理设计规则方面针对可制造性和成品率问题展开了分析研究。首先介绍了集成电路的设计和制造流程。其次分析了目前严重影响纳米级集成电路成品率问题的三种误差因素和与物理设计规则相关的可制造性问题。最后，本文提出了一种新的面向可制造性设计的物理参考设计规则研究流程，以边缘放置错误值、关键尺寸和版图面积作为标准评估参考设计规则。基于该设计流程，分析总结了一些纳米级工艺条件下适合在成品率较低的工艺初始阶段应用的可制造性设计规则。

目录

文摘

英文文摘

第一章绪论

第二章集成电路的设计制造流程

第三章可制造性设计

第四章基于DFM的物理设计规则研究

第五章总结与展望

参考文献

致谢