溶胶凝胶模板法在硅基板上制备钛酸钡纳米点阵列

摘要

BaTiO3是一种典型的铁电材料，应用极为广泛，在超高密度集成电子器件逐渐成为主流的趋势下，BaTiO3纳米点阵列的研究就显得更为重要。制备纳米点阵列的常规方法主要有光刻、分子束外延、溅射、自组装、气相沉积等等。本论文提出一种制备方法——溶胶凝胶模板法，该方法通过把溶胶凝胶工艺和纳米孔氧化铝模板结合起来制备出了BaTiO3纳米点阵列。与其他方法相比具有的重要特征为：溶胶凝胶模板法是非常适合于多元氧化物的，另外就是对基板没有特殊的要求。在本文的实验中采用的是硅基板，它可以和集成电路、芯片等相关联，非常容易推广。 由于溶胶凝胶模板法中纳米点阵列的形成与凝胶化时间有着紧密的联系，本文中首先研究了温度、pH值、溶胶浓度等参数变化时，BaTiO3溶胶体系凝胶化时间的变化规律，为后面溶胶凝胶模板法制备纳米点阵列提供合适的溶胶。

目录

文摘

英文文摘

第一章文献综述

第二章实验

第三章BaTiO3体系溶胶凝胶化影响因素的研究

第四章BaTiO3纳米点阵列的表征

第五章结论

参考文献

研究生期间发表的学术论文

致谢