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第一章绪论
§1.1微纳米技术概述
§1.2微机电系统(MEMS)及应用
§1.3微型驱动机构运动状态检测技术的研究发展现状
§1.4本课题的研究内容和主要创新
参考文献
第二章MEMS运动状态检测技术及原理
§2.1 MEMS的运动特点及检测要求
§2.2计算机微视觉测试技术原理及特点
§2.3干涉测量方法
§2.4激光多普勒测振技术
§2.5其它检测技术
参考文献
第三章基于CCD显微视频的测速测振新方法研究
§3.1基于CCD显微视频的测速测振新方法概述
§3.2微型驱动机构运动状态检测算法研究
§3.2.1显微视频及序列图像的测速测振算法
§3.2.2算法的性能与特点
§3.3图像匹配
§3.3.1图像匹配及关键要素
§3.3.2图像匹配的常用算法
§3.3.3 M×N模板匹配新方法
§3.4亚像素定位算法
§3.4.1亚像素及其定位
§3.4.2亚像素定位的常用算法
§3.4.3二次曲面拟合的亚像素提取算法
§3.5运动轨迹曲线的绘制方法
参考文献
第四章微型驱动机构的非接触显微测速测振系统研制
§4.1系统整体设计
§4.2 CCD显微摄像光路
§4.2.1 CCD视频成像单元
§4.2.2显微光路系统设计
§4.2.3光学照明系统
§4.3视频图像采集接口
§4.4显微测速测振软件系统的研制
§4.4.1软件总流程与主界面
§4.4.2序列图像或显微视频的输入
§4.4.3特征区域及匹配位置的确定
§4.4.4图像检测模块
§4.4.5进度显示栏
§4.4.6运动轨迹曲线图
§4.4.7匹配位置的显示
§4.5.8软件的总体调试
参考文献
第五章微型驱动机构的运动状态检测实验研究
§5.1系统的标定实验
§5.1.1像素标定
§5.1.2压电陶瓷的微振动检测
§5.2微探针的微进给运动检测
§5.3细长型光热微驱动机构偏转运动检测
§5.3.1机构设计及光热驱动实验
§5.3.2基于序列图像的微位移检测分析
§5.3.3基于显微视频的运动检测分析
§5.4触点开关式光热驱动器的运动检测
§5.4.1不同激光功率下的运动检测
§5.4.2不同激光频率下的运动检测
§5.5微型驱动机构的运动检测分析与应用展望
参考文献
第六章总结与展望
§6.1本文的工作总结
§6.2展望
攻读硕士学位期间发表的论文
国家发明专利和实用新型专利
致谢