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致谢
摘要
1 绪论
1.1 研究背景
1.2 基于快刀伺服的超精密切削加工技术
1.3 金刚石刀具几何形状的精密测量技术
1.3.1 金刚石刀具的扫描探针测量方法
1.3.2 金刚石刀具的光学测量方法
1.3.3 扫描电子显微镜和其它方法
1.4 微结构表面三维形貌的超精密测量技术
1.4.1 大面积扫描探针显微镜测量方法
1.4.2 机械接触式探针轮廓仪扫描方法
1.4.3 大面积三维微纳形貌的光学测量方法
1.5 论文的研究意义及研究内容
1.5.1 论文的来源及研究意义
1.5.2 研究内容及相互间的关系
1.6 本章小结
2 大尺寸微结构阵列的换刀拼接加工技术
2.1 引言
2.2 集成力传感器的FTS
2.3 微透镜阵列的超精密切削实验
2.3.1 辊筒模具微透镜阵列的加工方法
2.3.2 微透镜阵列的切削加工实验
2.4 微结构阵列的换刀拼接加工方法
2.5 基于FS-FTS的刀具定位基本性能测试
2.5.1 刀具定位的控制系统
2.5.2 刀具尖端-工件表面接触检测
2.5.3 刀具定位准确度测量实验
2.6 微结构阵列的换刀拼接加工
2.6.1 拼接加工实验条件
2.6.2 行列拼接加工实验研究
2.6.3 面积拼接加工实验研究
2.6.4 填充拼接加工实验研究
2.7 本章小结
3 微结构表面微缺陷的在线检测和修复技术
3.1 引言
3.2 微缺陷在线检测及修复方法
3.3 实验条件
3.4 切削力测量和形貌定征基本性能测试
3.4.1 力传感器的校正
3.4.2 切削力模型
3.4.3 切削力测量实验
3.4.4 接触力测量实验
3.4.5 微结构形貌定征实验
3.5 微结构单元缺陷的修复加工
3.5.1 单次修复
3.5.2 多次修复
3.6 微结构阵列缺陷的在线检测与修复
3.6.1 微结构缺陷的在线检测
3.6.2 微结构缺陷的修复加工
3.7 刀具尖端扫描测量时对表面的破损程度研究
3.8 本章小结
4 金刚石刀具切削刃轮廓的在机原位测量技术
4.1 引言
4.2 金刚石刀具切削刃轮廓原位测量方法
4.3 系统及实验平台
4.4 使用铝材质参考刃结构的测量
4.4.1 参考刃阵列结构的加工
4.4.2 基本性能测试
4.4.3 金刚石刀具轮廓测量
4.4.4 测量结果的分析与讨论
4.5 使用金刚石纳米参考刃结构的测量
4.5.1 实现方法及系统装置
4.5.2 参考刃尖端曲率半径定征
4.5.3 刀具尖端-参考刃尖端的接触检测
4.5.4 金刚石刀具切削刃轮廓测量
4.5.5 金刚石刀具磨损的原位定征
4.6 本章小结
5 微结构表面三维形貌的扫描探针测量技术
5.1 引言
5.2 高长-径比扫描探针的电化学研磨制备技术
5.2.1 电化学研磨探针制备方法
5.2.2 系统构建及断电控制策略
5.2.3 扫描探针制备过程参数的优化
5.2.4 高长-径扫描探针的可控制备
5.3 大面积扫描隧道显微测量系统
5.3.1 扫描隧道显微测量系统结构
5.3.2 扫描隧道显微测量控制系统
5.3.3 大面积扫描隧道显微测量装置基本性能测试
5.4 大面积微结构阵列表面三维形貌精密测量
5.4.1 扫描平面的倾斜校正
5.4.2 双正弦结构表面三维形貌的精密测量实验
5.4.3 双正弦结构表面三维形貌测量结果分析
5.5 本章小结
6 总结与展望
6.1 论文总结
6.2 论文创新点
6.3 研究展望
参考文献
作者简历及攻读博士学位期间的成果