声明
摘要
第一章绪论
1．1研究背秉和意义
1．2国内外研究现状
1．2．1并行有限元研究现状
1．2．2等离子刻蚀的研究现状
1．3本文的主要工作和章节安排
2．1引言
2．2有限元法
2．2．1有限元法的基本原理
2．2．2有限元法的误差和稳定性
2．3求解算法
2．3．1迭代求解算法原理
2．3．2预处理原理
2．4本章小结
第三章有限元改进及优化
3．1引言
3．2有限元法的实现流程
3．3流体力学的有限元空间
3．4流体力学的稳定方法
3．5稳定双共轭梯度法
3．6近似逆预处理器
3．7求解器并行化
3．8本章小结
4．1引言
4．2有限元法程序设计
4．3内存优化
4．4稀疏矩阵向量存储摇式
4．5矩阵向量乘法优化
4．6基于多核异构架构的并行化
4．6．1 MPI和OpenMP数据传输
4．6．2负载均衡
4．7实验结果
4．7．1实验平台和数据来源
4．7．2内存优化效果
4．7．3基于Xeon Phi的并行优化效果
4．8本章小结
第五章仿真应用
5．1引言
5．2验证正确性
5．3等离子刻蚀
5．4本章小结
第六章总结与展望
6．1全文研究内容总结
6．2研究展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间完成的学术论文及专利
