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第一章绪论
1.1引言
1.2硬质薄膜材料的研究进展和应用前景
1.2.1硬质薄膜及其分类
1.2.2纳米多层膜
1.3薄膜制备技术
1.4本文研究的薄膜材料
1.5本文研究内容和意义
1.5.1研究内容
1.5.2研究意义
第二章实验原理、方法和实验安排
2.1实验原理、方法
2.1.1离子束辅助沉积(IBAD)
2.1.2磁控溅射(MS)
2.2薄膜的结构特征测试方法
2.2.1X射线衍射(XRD)与小角X射线衍射(LA-XRD)分析
2.2.2俄歇电子能谱(AES)分析
2.2.3X射线光电子能谱(XPS)分析
2.3薄膜的力学及摩擦磨损性能测试方法
2.3.1XP-2台阶仪(surface profiler)
2.3.2XP纳米压痕仪(nanoindentor)
2.3.3MS-T3000材料表面性能测试仪
第三章ZrN/W多层膜的结构特征、力学性能分析
3.1ZrN/W多层膜的结构特征分析
3.1.1薄膜的小角X射线衍射(LA-XRD)与X射线衍射(XRD)
3.1.2薄膜的俄歇电子能谱(AES)分析
3.2ZrN/W多层膜的力学性能分析
3.2.1厚度
3.2.2内应力
3.2.3纳米硬度及弹性模量
3.2.4膜基结合力
3.2.5纳米定位压痕
3.3本章小结
第四章CrN/ZrN多层膜的结构特征、力学及摩擦磨损性能分析
4.1CrN/ZrN多层膜的结构特征分析
4.1.1薄膜的小角X射线衍射(LA-XRD)与X射线衍射(XRD)
4.1.2薄膜的俄歇电子能谱(AES)分析
4.1.3薄膜的X射线光电子能谱(XPS)分析
4.2CrN/ZrN多层膜的力学及摩擦摩损性能分析
4.2.1厚度
4.2.2内应力
4.2.3纳米硬度及弹性模量
4.2.4磨损率和摩擦系数
4.3本章小结
参考文献
硕士在读期间发表的论文
硕士在读期间参加的会议
致谢