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第一章综述
1.1 纳米技术的发展概况
1.2 光学纳米测量技术
1.3 本课题的主要研究内容和意义
第二章激光干涉系统的设计
2.1 干涉光路的设计
2.2 高精度导轨的设计
2.3 隔振系统的研究
第三章纳米驱动马达的研究
3.1 压电马达运动原理
3.2 压电马达控制系统硬件设计
3.3 压电马达控制系统软件设计
第四章干涉系统的信号处理
4.1 信号处理电路
4.2 信号三差的分析与补偿
4.3 位移计算
第五章仪器误差的理论分析与系统实验
5.1 仪器误差的理论分析
5.2 电容测微仪分辨率的估算
5.3 实验结果
5.4 数据处理及结果分析
全文总结与课题展望
参考文献
发表论文和科研情况说明
致谢