大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的实验研究

摘要

搭建了基于激光干涉仪测量原理的三轴微位移测量系统,对大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准进行实验研究。介绍了双频激光干涉仪测量系统的构成;编写了纳米位移台的控制程序和激光干涉仪数据采集程序;阐述了位移台的非线性校准方法,并通过实验对比了多项式三阶拟合和三阶分段拟合的差别,验证了校准方法的准确性。实验表明:使用三阶分段拟合的校准方法效果更好,校准前,x轴的最大非线性误差为4. 052μm,y轴的最大非线性误差为2. 927μm;校准后,x轴的最大非线性误差为15 nm,y轴的最大非线性误差为17 nm,仅为原始非线性误差的1%。