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第一章 绪论
1.1 MEMS的发展概况及其测试技
1.1.1 MEMS的发展概况
1.1.2 MEMS的测试技术
1.2图像拼接技术的国内外发展
1.2.1图像拼接模式
1.2.2图像拼接方法
1.3课题研究的主要目的和内容
第二章 微表面形貌的图像拼接方法
2.1微表面形貌图像的拼接策略
2.1.1平面相对位置的确定
2.1.2拼接中的误差分析
2.1.3微表面形貌图像拼接流程
2.2平面位置的匹配
2.2.1块匹配准则法
2.2.2改进的块匹配准则法
2.2.3数字相关法
2.2.4相位相关法
2.3离面偏差的修正
2.3.1基准坐标的确定
2.3.2坐标系的统一
2.3.3穷举搜索法对准
第三章 相移显微干涉测量的图像拼接实验系统
3.1相移显微干涉测试原理
3.1.1干涉显微镜
3.1.2相移干涉技术
3.1.3相位展开技术
3.2相移显微干涉测试系统
3.3扫描定位系统
3.3.1扫描定位工作平台
3.3.2脉冲源的输出控制
3.3.3MSP430F149单片机的外围电路
3.3.4MSP430F149单片机的串口通讯
3.3.5MSP430F149单片机的软件设置
第四章 实验及其分析
4.1系统的测试实验
4.1.1子区域的单次测量
4.1.2扫描拼接测试
4.2曲面的对比实验
4.3重叠度的影响分析
4.4MEMS器件的拼接测量实验
4.4.1悬臂梁的拼接测量
4.4.2梳齿谐振器的拼接测量
第五章 总结与展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢