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目录
第一章 绪论
§1.1 纳米科技国内外发展动态
§1.2 纳米计量与量值溯源
§1.3 激光聚焦纳米测量方法的发展
§1.4课题研究意义及主要内容
第二章 激光聚焦式纳米计量系统的原理与构成
§2.1 激光聚焦式纳米计量系统的构成原理
§2.2激光聚焦式纳米计量系统的软件分析
§2.3 激光聚焦式纳米计量系统的计量性能
§2.4本章小结
第三章 激光聚焦式测头的测量性能
§3.1激光聚焦式测头与纳米定位机的配合
§3.2激光反射率、折射率对测量性能的影响
§3.3激光聚焦光斑对测量结果的影响
§3.4本章小结
第四章 激光聚焦式纳米计量系统的测量不确定度评价
§4.1台阶、栅格的测量评价方法
§4.2测量不确定度来源分析
§4.3测量不确定度评价
§4.4本章小结
第五章 结论与展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢