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目录
第一章 绪论
1.1选题背景及研究意义
1.2国内外研究进展
1.3论文主要工作与结构安排
第二章 电路模型热分析原理
2.1互连线的电迁移失效
2.2 ANSYS软件的编程
2.3 ANSYS仿真步骤
2.4子模型的应用
2.5网格划分
2.6原子流散度
2.7本章小结
第三章 人工神经网络
3.1神经网络的基本组成
3.2神经网络的结构类型
3.3神经网络的训练
3.4神经网络的应用
3.5本章小结
第四章 不同结构的互连可靠性热分析
4.1温度对AFD的影响
4.2电流对AFD的影响
4.3 NMOS源极与漏极之间的距离对AFD的影响
4.4阻挡层厚度与低-k材料对AFD的影响
第五章 基于神经网络的互连可靠性分析
5.1神经网络建模法的提出及优势
5.2基于可靠性的神经网络模型结构
5.3可靠性神经网络模型的训练
5.4可靠性神经网络模型的结果与讨论
5.5可靠性神经网络的反演应用
第六章 总结与展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢