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目录
第一章 绪论
1.1聚合物微结构加工的研究现状
1.2褶皱结构的研究现状及应用前景
1.3课题的主要研究内容
第二章 Au/PDMS褶皱自组装图案的研究
2.1 PDMS性能和性质
2.2自组装褶皱图案的产生原因
2.3褶皱图案的实验研究
2.4薄膜褶皱的有限元分析
2.5本章小结
第三章 特征结构微刻划加工的有限元仿真分析
3.1微沟槽刻划毛刺的有限元仿真分析
3.2微刻划实验结果与仿真结果的对比
3.3本章小结
第四章 纳米管探针探测大纵深结构时假象的形成机理
4.1实验平台
4.2假象的特征和规律
4.3模型的建立和实验结果
4.4本章小结
第五章 总结与展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢