声明
第一章 绪论
1.1 研究背景
1.2 FBAR生物传感器研究现状
1.3 集成多检测技术的压电传感器研究现状
1.4 本课题的意义与本论文的主要研究内容
第二章 单芯片集成传感系统的方案设计
2.1 FBAR传感器的原理及实现
2.2 电化学传感器的原理及实现
2.3 FET传感器的原理及实现
2.4 传感系统方案设计
2.5 版图设计
2.6 工艺制程
第三章 FBAR传感器的性能及应用研究
3.1 传感性能参数的定义
3.2 湿度检测
3.3 多种有机气体检测
第四章 单芯片集成电化学工作电极的FBAR传感系统应用研究
4.1 葡萄糖浓度检测
4.2 DNA杂交过程检测
第五章 单芯片集成FET延伸栅极的FBAR传感系统应用研究
5.1 聚电解质层层自组装过程检测
5.2 抗原-抗体蛋白分子结合过程检测
第六章 总结与展望
6.1 论文主要研究内容与成果
6.2 论文创新点
6.3 存在的问题与后续工作展望
参考文献
发表论文和科研情况说明
致谢