微纳多齿谐振光栅偏振分束器的研究

摘要

由于光栅对于TE和TM偏振光表现出不同的衍射性质,据此,基于硅基微纳多齿谐振光栅,我们设计了一种高性能的偏振分束器。严格耦合波理论分析方法表明,在C + L (1.53~1.62 μm)宽谱范围内,此器件拥有衍射效率大于97%,消光比大于16 dB,以及角度带宽为8?等的优越性能。此外,我们还考察了结构参数变化对此光栅偏振分束器性能的影响。