声明
第1章绪论
1.1选题背景及意义
1.2表面形貌测量方法
1.3本文研究目的及主要内容
第2章变焦测量原理及聚焦评价函数
2.1聚焦和离焦模型
2.2变焦测量原理
2.3聚焦评价函数分析
2.4本章小结
第3章测试系统构建
3.1测试系统
3.2系统硬件
3.3系统软件
3.4本章小结
第4章实验参数选取与数据处理
4.1实验参数选取
4.2数据处理
4.3本章小结
第5章实验与结果分析
5.1 MEMS微谐振器结构
5.2球形探针测头
5.3刀具刃口
5.4本章小结
第6章总结与展望
6.1工作总结
6.2工作展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢