声明
第1章 绪论
1.1 硅纳米线
1.2 多孔性硅纳米线
1.3 本课题研究内容及意义
第2章 实验原理
2.1 多孔性硅纳米线制备
2.2气敏传感器的概述
第3章 实验部分
3.1 实验准备
3.2 一步刻蚀法制备硅纳米线与多孔性硅纳米线
3.3 两步刻蚀法制备多孔性硅纳米线
3.4 多孔性硅纳米线微观结构表征
3.5 多孔性硅纳米线气体传感器制备与性能评价
第4章 多孔性硅纳米线微观结构表征
4.1 一步刻蚀法多孔性硅纳米线微观结构分析
4.2一步刻蚀法制备多孔性硅纳米线形成机理
4.3两步刻蚀法制备多孔性硅纳米线微观结构分析
4.4 两步刻蚀法制备多孔性硅纳米线形成机理
4.5 本章小结
第5章 多孔性硅纳米线气敏性能研究
5.1 一步刻蚀法制备多孔性硅纳米线的气敏性能
5.2 两步刻蚀法制备多孔性硅纳米线的气敏性能
5.3 多孔性硅纳米线的气敏机理
5.4 本章小结
第6章 总结与展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢