偏振不敏感的分形超导纳米线单光子探测器

目录

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第1章 绪论

1.1超导纳米线单光子探测器简介

1.1.1超导纳米线单光子探测器的研究现状

1.1.2探测机理简述

1.1.3探测效率、暗计数率、时域抖动、死时间

1.2探测效率的偏振敏感性

1.3分形曲线及其在电子学中的应用

1.4论文的研究目的及整体框架

第2章 分形超导纳米线单光子探测器的设计

2.1引言

2.2回形纳米线单光子探测器吸收仿真

2.3分形纳米线单光子探测器吸收仿真

2.3.1皮亚诺分形纳米线结构说明

2.3.2吸收效率仿真结果

2.4本章小结

第3章 器件加工

3.1引言

3.2扫描电子束曝光工艺步骤

3.2.1近邻效应

3.2.2模版设计

3.2.3工艺流程

3.3干法刻蚀工艺步骤

3.4光刻-电子束蒸镀-抬离工艺步骤

3.5本章小结

第4章 偏振相关的吸收效率测量

4.1引言

4.2测试系统搭建

4.2.1高精度六轴位移调节台的控制

4.2.2光纤聚焦器出射光束束腰半径的测量

4.3器件吸收率测量

4.3.1光斑‐器件耦合方法

4.3.2测试结果

4.4本章小结

第5章 偏振相关的器件效率测量

5.1引言

5.2低温测试系统简述

5.2.1低温测试系统

5.2.2耦合效率测算

5.3测试结果

5.3.1器件低温性能及表征

5.3.2偏振相关的器件效率测量结果

5.4讨论

5.4.1有关电流拥挤效应的讨论

5.4.2连续调节偏振敏感度的分形超导纳米线单光子探测器设计

5.5本章小结

第6章 总结与展望

6.1总结

6.2展望

参考文献

附录A：符号定义

发表论文和参加科研情况说明

致谢