分数傅立叶滤波改善光刻成像质量

摘要

基于部分相干成像理论和分数傅立叶变换滤波等理论,我们提出了利用分数傅立叶域滤波改善光刻成像质量的波前工程新思想和新方法.分数傅立叶变换滤波比常规傅立叶变换滤波增加了新的自由度,可以在非频谱面的分数傅立叶变换面上进行滤波操作,大大提高了滤波片设计的灵活性,滤波片加放位置更方便、更合理,并可更有效地提高光刻图形质量.该论文初步建立了分数傅立叶域滤波改善部分相干成像质量的理论、方法和滤波器优化设计算法.利用自编软件对光刻成像分数域滤波过程进行了模拟分析.计算机模拟结果表明,通过在非瞳孔面的适当分数傅立叶变换面上加入优化设计的位相型滤波器,可有效减小光刻图形的线宽偏差和面积偏差,提高成像系统的分辨率和焦深,为分数域滤波改善光刻图形质量实验的开展和这一分辨率增强技术走向实用化提供了指导依据.

目录

文摘

英文文摘

第一章前言

§1.1光刻技术的现状

§1.2光学光刻的分辨率增强技术

§1.3分数傅立叶域滤波改善光刻成像质量新方法

§1.3.1分数傅立叶变换的发展概况

§1.3.2分数傅立叶滤波在改善光刻成像质量方面的应用

§1.4本论文的主要内容

参考文献

第二章分数傅立叶域滤波光刻成像理论

§2.1引言

§2.2光刻成像基本原理

§2.2.1影响光刻成像质量的几个重要指标

§2.2.2光刻成像系统中部分相干成像理论

§2.3分数傅立叶变换

§2.3.1分数傅立叶的定义

§2.3.2分数傅立叶变换基本性质

§2.3.3分数傅立叶变换的光学实现

§2.4光刻成像系统中分数傅立叶域滤波基本原理

§2.4.1瞳孔滤波

§2.4.2信息处理中的分数傅立叶域滤波基本思想

§2.4.3部分相干成像系统中的分数傅立叶域滤波理论

§2.5光刻成像中分数傅立叶域滤波的特点及前景

参考文献

第三章分数傅立叶滤波改善光刻成像质量的模拟计算

§3.1引言

§3.2快速分数傅立叶变换算法

§3.2.1分数傅立叶变换快速算法一

§3.2.2分数傅立叶变换快速算法二

§3.3分数傅立叶滤波改善光刻成像质量模拟分析

§3.3.1分数傅立叶域滤波前后空间像的比较分析

§3.3.2分数傅立叶域滤波前后离焦情况比较分析

§3.3.3分数傅立叶域滤波片位置对面积偏差、线宽偏差的影响分析

§3.3.4分数傅立叶域滤波前后不同线宽对面积偏差、线宽偏差的影响

§3.3.5实例模拟计算分析

§3.4模拟结果分析小结

参考文献

第四章总结

1攻读硕士学位期间撰写的论文

2攻读硕士学位期间参加的科研任务

声明

4致谢