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高比容铝电极箔制造技术及其机理研究

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第一章绪论

§1.1 引言

§1.2 铝电解电容器的结构特征及其比容特性

§1.3 铝电解电容器用阳极箔的比容

§1.4 高比表面积铝电极箔制造技术及其研究进展

1.4.1 高比表面积铝电极箔制造技术简介

1.4.2 高比表面积铝电极箔制造技术的理论研究进展

1.4.3 高比表面积铝电极箔制造技术的工艺研究进展

§1.5 电化学测试、分析技术及小波分析在腐蚀机理研究中的应用

1.5.1 电化学稳态及非稳态测试技术

1.5.2 电化学非稳态测试信号的分析技术

1.5.3 小波分析及其在电化学检测中的应用

§1.6 高介电常数铝氧化膜制造技术及发展

1.6.1 铝电解电容器的电介质层

1.6.2 高介电常数铝氧化膜制造技术研究进展

§1.7 本论文的选题及结构体系

1.7.1 高比容铝电极箔制造技术发展及研究概况

1.7.2 目前高比容铝电极箔理论研究急需解决的几个问题

1.7.3 本论文的选题及结构体系

第二章高纯铝点蚀机理研究

§2.1 引言

§2.2 金属的点蚀

2.2.1 金属的点蚀及其产生原因

2.2.2 金属点蚀的电化学特性

§2.3电化学噪声检测的基本原理

2.3.1 电化学噪声检测技术及其优点

2.3.2 电化学噪声的来源

2.3.3 电化学噪声在金属点蚀行为研究中的应用

§2.4电化学噪声的小波包子带能量表征方法

2.4.1 小波变换及其时频联合分析特性

2.4.2 小波包的定义及其对频带的分割

2.4.3 小波包分解子频带能量特征向量

§2.5 高纯铝在HCl及混酸体系中的电化学噪声特征

2.5.1 电化学噪声信号测试系统

2.5.2样品制备及测试体系

2.5.3 测试结果

2.5.4 高纯铝电化学噪声信号的功率谱密度(PSD)特征

2.5.5 高纯铝电化学噪声信号的小波包子带能量谱特征

§2.6 高纯铝在HCl及混酸体系中的点蚀机理

2.6.1 电化学电流噪声的理论模型

2.6.2 蚀核萌生机制

2.6.3 蚀孔的生长过程

§2.7 本章小结

第三章铝电极箔交流腐蚀机理研究

§3.1 引言

§3.2 金属在交流电作用下的腐蚀

3.2.1 交流电对金属腐蚀电化学特性的影响

3.2.2 交流电对高纯铝点蚀行为的影响

§3.3 高纯铝三角波动电位极化研究

3.3.1实验方法

3.3.2蚀孔萌生时的三角波动电位扫描电流响应曲线

3.3.3 蚀孔生长时的三角波动电位扫描电流响应曲线

3.3.4蚀孔生长时三角波动电位扫描电流响应信号的小波时频分析

§3.4 氧空位输运侵蚀模型

3.4.1 氧空位输运侵蚀模型

3.4.2 氧空位输运侵蚀模型对有关实验现象的解释

§3.5 高纯铝变频交流腐蚀动力学机制初探

3.5.1 实验方法及结果

3.5.2 交流变频腐蚀电流信号的小波包时频表征

3.5.3 交流变频腐蚀动力学机制初探

3.5.4 交流变频腐蚀动力学机制中动力学参数βa的测量

3.5.5 高纯铝交流变频腐蚀时SO2-4的影响

§3.6 高纯铝点蚀过程中SO2-4的缓蚀机理

§3.7 本章小结

第四章铝电极箔交流腐蚀工艺研究

§4.1 引言

§4.2 理论扩面倍率K的计算机模拟计算

4.2.1 已有的理论扩面倍率K的计算模型

4.2.2 理论扩面倍率K的模拟计算

§4.3 交流发孔工艺与直流发孔工艺对比性研究

§4.4 交流发孔腐蚀工艺研究

4.4.1 HCl浓度对腐蚀箔比容的影响

4.4.2 SO2-4浓度对腐蚀箔比容的影响

4.4.3 腐蚀液温度对腐蚀箔比容的影响

4.4.4 初始电流密度对腐蚀箔比容的影响

4.4.5 交流发孔工艺参数的优化

§4.5 本章小结

第五章高介电常数复合介质膜生长技术研究

§5.1 引言

§5.2 通过化学转化膜技术提高铝电极箔比容研究

5.2.1 磷酸—铬酸处理法

5.2.2 胺类溶液处理法

5.2.3 磷酸—铬酸或胺类溶液处理过程中γ'或γ-Al2O 3的形成机理

§5.3 通过复合高介电常数阀金属氧化物提高铝电极箔比容研究

5.3.1 工艺技术路线分析

5.3.2 铝电解电容器试制品试验及结果

5.3.3 高介电常数阀金属复合氧化膜的微观分析及表征

5.3.4 存在高介电常数阀金属复合氧化膜情况下的阳极氧化过程

5.3.5 高介电常数阀金属复合氧化膜的介电常数

5.3.6 纳米尺度复合材料的介电行为

5.3.7 高介电常数阀金属复合氧化膜介电行为研究

§5.4 本章小结

第六章结论与展望

§6.1本论文的主要结论

§6.2本论文的主要创新点

§6.3 前景展望

参考文献

致谢

附录1攻读博士学位期间已发表和待发表的学术论文及所申请专利

附录2攻读博士学位期间所获奖励

附录3个人简历

附录4科技查新报告与国家知识产权局对专利申请的初审合格通知书

附录5专利申请技术转让后媒体关注情况

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摘要

高比容铝电极箔制造技术是实现铝电解电容器小型化的关键技术,该论文从提高铝电极箔电蚀扩面倍率及提高介质膜介电常数两个不同角度出发,对低压铝电极箔增容技术的机理及相关工艺进行了详细研究,大幅度地提高了国产铝电极箔比容水平,所取得的主要结论及创新性的结果如下:1、提出了高纯铝在腐蚀性介质体系中发生点蚀时,蚀核萌生机制和蚀孔生长机制:2、对高纯铝交流腐蚀机理进行了研究,首次提出了Cl<'->氧空位输运侵蚀机制,以及SO<,4><'2->氧空位缓蚀作用机制;3、建立了YF基元生长模型对铝电极箔理论扩面倍率进行了计算;4、研究了交流发孔工艺:5、研究了高介电常数的介质膜生长技术:6、将小波及小波包信号分解及重构引入测试信号的分析处理中,取得了良好效果.

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