分布电容式介质移相器的研制

摘要

本文主要研究了在毫米波有源相控阵雷达的T/R组件中有重要应用前景的铁电薄膜介质移相器.通过对本教研室已经提出的一种新型的分布电容式薄膜介质移相器的设计方法、加工工艺条件与实际测试情况的分析,改进介质移相器中不足的地方.这种新型分布电容式薄膜介质移相器的由共面波导高阻传输线和周期加载的平板BST薄膜电容构成.结合该器件的特点,利用现有的高频电磁仿真软件进行了综合分析,再选择ANSOFT HESS来对器件进行结构仿真的同时,还选择ADS来对器件进行系统仿真,研究了移相器各项结构参数、薄膜电性能参数对器件整体性能产生影响的规律,以此来辅助移相器的设计与加工.对移相器加工工艺进行了深入的研究并摸索出合适的工艺条件,最后完成器件的制作与测试.

目录

文摘

英文文摘

独创性声明和关于论文使用授权的说明

第一章引言

1.1相控阵天线的相位扫描法的基本原理

1.2移相器分类及其工作原理

1.2.1传统移相器

1.2.2新型移相器

1.3移相器的研究现状

1.4本课题的主要内容

第二章分布电容式介质移相器的设计

2.1介质移相器基本结构及工作原理

2.2分布电容式介质移相器设计方案

2.3分布式电容负载结构介质移相器电路设计

2.3.1基本原理分析

2.3.2移相器各部分电路结构尺寸设计

第三章介质移相器的改进与仿真优化

3.1介质移相器电路结构的改进

3.2仿真软件的选择和仿真基本原理

3.3介质移相器相关参数的仿真优化

3.3.1中心导带结构参数的确定

3.3.2影响器件损耗的部分因素

3.4移相器设计结果

第四章移相器的加工与完善

4.1移相器的工艺流程

4.2工艺条件的选择

4.2.1基片的选择

4.2.2基片的清洗

4.2.3 BST铁电薄膜的制备

4.2.4光刻胶的选择

4.2.5电极的加工

4.3器件的性能测试与结果分析

4.3.1测试夹具的制作

4.3.2测试结果分析

4.4目前存在的问题与今后改进措施

结论

参考文献

致谢