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第一章绪论
1.1课题背景及研究意义
1.2国内外现状
1.3主要工作
第二章轻型阵列天线的考虑
2.1微带天线的结构特点及类别
2.2微带天线的辐射机理
2.3微带天线的分析方法
2.3.1传输线模型法
2.3.2空腔模型法
2.4天线阵列理论
2.4.1直线天线阵
2.4.2平面天线阵
2.5阵列微带天线的馈电
2.5.1并联馈电
2.5.2串联馈电
2.6小结
第三章轻型阵列微带天线中的单元设计
3.1微尺度下的电磁场方程
3.1.1尺度效应
3.1.2微尺度下的电磁场方程
3.2矩形与圆形微带天线的比较
3.3矩形贴片单元的设计
3.3.1 Arlon ARl000基板天线单元
3.3.2聚四氟乙烯基板天线单元
3.3.3聚四氟乙烯基板天线单元实验
3.4小结
第四章轻型阵列微带天线的设计
4.1阵列式微带天线设计步骤
4.2 2×4八单元阵列天线的设计
4.2.1阵元数目的确定
4.2.2阵列天线单元的设计
4.2.3八单元阵列微带天线的馈电网络
4.2.4馈线网络中的功率分配器
4.3八单元阵列微带天线的仿真
4.3.1不同Zl时的阵列天线方向图
4.3.2不同Z1时的阵列天线的增益
4.3.3八单元阵列微带天线方向图的优化
4.4十六单元阵列微带天线的设计与仿真
4.5小结
第五章MEMS制造工艺
5.1 MEMS常用工艺
5.1.1体硅微制造
5.1.2表面微制造技术
5.1.3 LIGA工艺
5.2十六单元阵列微带天线加工步骤
5.2.1陶瓷基板的制造
5.2.2阵列微带天线的加工成形
5.3小结
第六章总结与展望
6.1总结
6.2展望
致 谢
参考文献
附录
攻硕期间取得的研究成果