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第一章绪言
1.1课题研究背景及意义
1.1.1发展太阳能的意义
1.1.2发展多晶硅的意义
1.1.3国内外多晶硅生产情况
1.1.4国内外多晶硅生产技术现状
1.1.5多晶硅还原炉调功器国内外研究现状
1.2本论文主要工作
第二章多晶硅还原炉加热集成控制系统工作原理
2.1多晶硅性能概述
2.1.1多晶硅还原生长原理
2.1.2多晶硅电气特性
2.2多晶硅还原炉加热集成控制系统
2.2.1多晶硅加热过程
2.2.2系统控制原理
2.3多晶硅还原炉自动调功器工作原理
2.3.1抽波调压
2.3.2斩波和拼波的原理
2.3.3谐波分析及MATIAB仿真
2.3.4调功方式的选择
第三章多晶硅还原炉自动调功器硬件系统设计
3.1模拟通道
3.1.1信号调理电路
3.1.2过零鉴相电路
3.1.3信号隔离电路
3.1.4模拟低通滤波电路
3.2数字通道
3.3 DSP/CPLD
3.3.1 DSP
3.3.2 CPLD
3.3.3 CAN通信电路
3.3.4 DSP扩展电路
3.4电源
3.4.1 24V电源输入滤波
3.4.2 15W DC/DC隔离电源
3.4.3 6W DC/DC隔离电源
3.4.4具体电源分配框图
第四章实验结果
4.1过零鉴相电路调试
4.2 AD采样电路调试
4.3 DSP控制板的输出信号
4.4斩波和拼波实验
4.5现场系统调试波形
第五章结束语
致谢
参考文献
在学期间的研究成果
电子科技大学;