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目录
第一章 绪论
1.1课题背景及研究意义
1.2国内外研究现状
1.3本论文的主要研究内容
第二章 碳纳米管与NEMS谐振器简介
2.1 碳纳米管的力电性质
2.2 NEMS谐振器特性
2.3 本章小结
第三章 碳纳米管谐振器相关理论研究
3.1碳纳米管梁受力分析
3.2 失效电压分析
3.3 碳纳米管振动分析
3.4 检测原理分析
3.5 本章小结
第四章 碳纳米管谐振器ANSYS建模仿真分析
4.1 NEMS建模方法
4.2 有限元方法和ANSYS简介
4.3 失效电压仿真分析
4.4 谐振动态特性仿真
4.5 本章小结
第五章 碳纳米管谐振器的制造技术研究
5.1 碳纳米管的制备技术
5.2 NEMS制造技术
5.3 碳纳米管谐振器制造工艺流程
5.4 本章小结
第六章 结论与展望
6.1 本论文的主要研究结论
6.2 对进一步工作的展望
参考文献
致谢
攻读硕士期间取得的成果