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目录
第一章 绪 论
1.1 本论文的研究背景及意义
1. 2 本论文国内外研究进展
1. 3 本课题的研究内容与工作安排
第二章 复合多层膜结构声表面波谐振器设计模型及方法
2. 1 概述
2.2 ZnO/Metglas自由表面传播特性
2.3 耦合模(COM)模型
2.4 耦合模(COM)参数
2. 5 本章小结
第三章 非晶态合金的退火实验及ΔE效应研究
3. 1 非晶态合金
3. 2 一种非晶态合金的数学模型
3.3 未退火Metglas2605SA1ΔE效应测试
3. 4 磁场退火对非晶带材磁性能的影响
3. 5 退火后非晶带材ΔE效应
3. 5 本章小结
第四章 复合多层膜的磁电声表面波谐振器的制备
4. 1 制备流程及工艺条件
4.2 Metglas2605SA1的抛光处理
4. 3 压电薄膜ZnO的性质及其性能研究
4. 3 叉指换能器的制备
4. 4 谐振器的测试与分析
4. 5本章小结
第五章 结 论
致谢
参考文献
硕士期间所取得的研究成果