有机电致发光显示器关键工艺技术及其可靠性的研究

摘要

随着有机电致发光显示器(OLED)的不断深入和广泛的研究以及越来越多的应用，使其为人们所熟知，它多姿多彩的应用为当今的信息社会增添了无数斑斓。为使OLED有更加广阔的市场前景，这就需要对OLED显示的制程工艺及可靠性有更高的要求。
　　 本文首先总体介绍了OLED的发展概况、结构和显示原理以及OLED制造工艺流程，重点研究了OLED生产工艺当中的两个比较关键的生产工艺技术，针对OLED设计提出了适合其器件产品特点的可靠性评价方法，并制定了可靠性评价方法的和测试流程及测试条件：
　　 1）表面预处理工艺研究和改进:主要从生产角度来研究OLED基板表面的预处理工艺的效果，从接触角和方阻值等方面进行测试比较，在进行UV Ozone，Plasma以及两者相结合的表面处理后，通过对其的光电特性。发光效率等测试结果来对各种表面处理的效果进行比较，实验证明在各种表面预处理工艺中，氧UV Ozone加上氧Plasma的处理对提高器件亮度，发光效率的贡献最为显著。在生产工艺中，同时配置UV Ozone和氧Plasma的预处理设备，结合两种处理方式，使得生产的OLED的器件可以达到最佳的性能。
　　 2）彩色滤光片CF实行全彩化的工艺研究和改进:基于量产能力角度来考量实现全彩化OLED的技术，比较使用彩色滤色膜（CF）与使用RGB三色排列实现OLED全彩化两种方法的亮度以及表面平整度等光电参数。试验证明：ITO薄膜的粗糙不平、灰尘和针孔等缺陷引起的凸凹不平将引起会使得CF的表面出现属于微米级别的不均匀问题，导致使用CF的全彩OLED的产品会出现可靠性等质量问题。本文提出针对CF在OLED实现全彩化的生产方式中需要解决CF表面的粗糙度，以及阻隔ITO层下面的有机层上水气方面的问题的进行改进和优化。对于OLED的材料开发也提出了新的课题，同时也需要对OLED的器件结构的改进，才能实现更好应用于OLED全彩化。
　　 3）OLED可靠性评价方法的研究:现在OLED不像LCD等其他显示器件已经有了统一的评价方法和行业标准，制定OLED评价方法基于学习可靠性相关基础理论知识，在了解和熟悉LCD等相关显示器件的可靠性评价方法和测试方式的基础上设计适合OLED显示器件的可靠性评价方法和测试条件，以达到实行OLED商品化的要求，满足市场对于OLED器件可靠性的要求。
　　 本文的工艺研究和改进进一步优化了OLED关键的生产工艺，并制定了OLED的可靠性评价方法，弥补了现有OLED产品上市所缺少地可靠性评价的空白，对于OLED进一步的商品化有着很大的指导意义。