摘要
1绪论
1．1课题背景及研究意义
1．2国内外研究现状
1．2．1光栅测量系统的研究现状
1．2．2光栅测量系统短周期误差研究现状
1．2．3课题研究目的
1．3课题研究的主要内容
2长光栅测量系统短周期误差研究
2．1长光栅测量系统短周期误差研究实验台设计
2．1．1坐标系定义及读数头姿态
2．1．2读数头姿态调整方案设计
2．1．3长光栅测量系统短周期误差研究实验台组成
2．1．4光栅读数头系统选型
2．1．5单自由度高精密手动位移台选型
2．1．6长光栅测量系统短周期误差实验台机械系统结构设计
2．1．7滚动导轨副选型
2．2长光栅测量系统短周期误差研究实验台搭建与调试
2．2．1长光栅测量系统短周期误差研究实验台搭建
2．2．2起始点及零点设置
2．3干涉扫描原理光栅实验及分析
2．3．1干涉扫描原理光栅读数头四个自由度方向安装误差分析
2．3．2干涉扫描原理光栅读数头姿态精确调整
2．3．3干涉扫描原理光栅读数头安装误差相关分析
2．4成像扫描原理光栅实验及分析
2．4．1成像扫描原理光栅读数头安装到位的测量误差
2．4．2成像扫描原理光栅读数头四个自由度方向安装误差分析
2．4．3成像扫描原理光栅读数头姿态精确调整
2．4．4成像扫描原理光栅读数头安装误差相关分析
2．5本章小结
3多读数头误差消减技术研究
3．2读数头X轴方向相位分析方法
3．3读数头x轴方向相位分析
3．3．2干涉扫描原理读数头X轴方向数据分析
3．3．3成像扫描原理读数头X轴方向数据分析
3．4多读数头误差消减机理
3．5多读数头法实验验证
3．5．1实验平台搭建
3．5．2实验分析
3．5．3实验平台改进依据及方案
3．5．4改进后的实验分析
3．6多读数头法读数头个数优化
3．7本章小结
4圆光栅测量系统短周期误差研究
4．1闭式圆光栅测量系统研究
4．1．1闭式圆光栅测量系统
4．1．2闭式圆光栅测量系统实验平台
4．1．3圆转台驱动及圆光栅数据采集
4．1．4实验及分析
4．1．5对比分析
4．2开式圆光栅测量系统研究
4．2．1开式圆光栅测量系统及圆光栅安装偏心检测
4．2．2开式圆光栅测量系统实验平台
4．2．3实验及分析
4．2．4对比分析
4．3本章小结
5消减光栅短周期误差读数头座结构研究
5．1误差敏感方向可微调的读数头座设计
5．1．1干涉扫描原理读数头座设计
5．1．2成像扫描原理读数头座设计
5．2双读数头调相位法读数头座设计
5．2．1干涉扫描原理双读数头座设计
5．2．2成像扫描原理双读数头座设计
5．3本章小结
6结论与展望
6．1结论
6．2展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文
致谢
声明
附录
西安工业大学;
