摘要
1绪论
1.1课题研究背景
1.2课题研究目的和意义
1.3国内外研究现状
1.3.1国内研究现状
1.3.2国外研究现状
1.4本文主要研究内容
2激光薄膜损伤阈值的测试及其影响因素
2.1光学薄膜的损伤
2.1.1薄膜损伤定义
2.1.2薄膜损伤的判别
2.2激光薄膜损伤阈值的测试方法
2.2.2损伤阈值的测试方法
2.3薄膜损伤阈值的影响因素
2.3.1激光参数对薄膜损伤阈值的影响
2.3.2光学薄膜材料物理特性对损伤阈值的影响
2.4本章小结
3激光参数的测量
3.1激光特性参数
3.1.1激光功率和能量
3.1.2激光空域参数
3.2激光参数的测量方法
3.2.1脉冲激光能量的测量
3.2.2光斑尺寸的测量
3.2.3 M2因子的测量
3.3夏克-哈特曼检测法
3.3.1夏克-哈特曼波前检测原理
3.3.2微透镜阵列的光束变换
3.3.3束形参数的计算
3.3.4光强分布拟合
3.4本章小结
4激光参数对薄膜损伤阈值的影响
4.1激光能量对薄膜损伤阈值的影响
4.2聚焦光斑尺寸对薄膜损伤阈值的影响
4.3 M2因子对薄膜损伤阈值的影响
4.3.1高斯光束的传输变换原理
4.3.2高斯光束的透镜传输变换原理
4.3.3数值模型的建立与仿真
4.4激光输出参数的稳定性分析
4.4.1激光输出参数稳定性的影响因素
4.4.2不确定度分析
4.5本章小结
5实验装置设计与结果分析
5.1实验测试装置
5.1.1损伤阈值测试系统
5.1.2激光参数测量系统
5.1.3衰减系统
5.2结果分析
5.2.1激光参数测量结果
5.2.2输出能量对损伤阈值的影响
5.2.3聚焦光斑尺寸对损伤阈值的影响
5.2.4不确定度分析
5.2.5 M2因子对损伤阈值的影响
5.3本章小结
6结论与展望
6.1结论
6.2展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文
致谢
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