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符号说明
第一章 绪论
1.1 立题背景
1.2 多晶硅生产工艺
1.3 四氯化硅处理工艺
1.4 硅与四氯化硅耦合加氢反应研究进展
1.5本文研究目的与内容
1.6本章小结
第二章 实验方法
2.1 原料与试剂
2.2 实验装置
2.3 分析方法
2.4 表征手段
2.5 本章小结
第三章 硅与四氯化硅耦合加氢反应历程中的活性变化
3.1研究内容
3.2样品的制备
3.3晶型变化
3.4 表面形貌与组成
3.5 活性变化分析
3.6小结
第四章 氯化亚铜粒径对硅与四氯化硅耦合加氢反应的影响
4.1 研究内容
4.2 氯化亚铜粒径对硅与氯化亚铜反应的影响
4.3氯化亚铜粒径对硅与四氯化硅耦合加氢反应的影响
4.3本章小结
第五章 硅与四氯化硅耦合加氢反应工业流化床数值模拟
5.1 前言
5.2 模型建立
5.3 结果与讨论
5.3 本章小结
第六章 全文总结
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文