转接板生产线关键设备综合效率的研究

摘要

N公司是一家半导体封装转接板研发与生产的公司，主要为国家项目和国内外的半导体封装企业提供先进封装和转接板的生产与研发。为满足大量生产订单和研发项目的准时交货，本文使用设备综合效率来对转接板生产线设备进行统计分析，特别是对瓶颈设备的综合效率提升展开研究，从而提高该生产线产能。OEE不仅为一个独立的测量工具和简单实用的管理工具，也可以用来表现实际产能与理论产能之间的比例关系。由于这些好处，使得其在欧美和中国的大型企业中得到了广泛的应用。
　　本文在分析公司转接板生产状况及工艺流程基础上，对转接板生产线各设备的OEE进行了分析，确定出该产线影响产能的瓶颈设备为深反应离子刻蚀机；又通过对刻蚀机OEE的三个主要影响因子进行详细分析，找出影响其OEE的关键问题是非计划停机时间太长，从而使其时间开动率太低；使用排列图方法来进行深入分析研究后，确认了刻蚀机的故障为非计划停机时间的主因，约占2/3；采用鱼骨图分析法对静电吸力释放失效的问题进行分析后，对静电吸附盘进行翻新改造和刻蚀机腔壁加热性能改造；研究成果经使用表明深反应离子刻蚀机的OEE从初始的64.8％提升到74.3%。转接板生产线的产能从原1800片/月提高到2300片/月，满足了N公司实际生产的需求。

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第一章 绪 论

1.1 课题研究背景与意义

1.2 国内外研究状况

1.3 本文主要研究内容

1.4 论文框架结构

第二章 N公司转接板生产线概况

2.1 N公司转接板生产流程与设备

2.2 N公司生产管理状况分析

2.3 存在问题及改进设想

2.4 本章小结

第三章 N公司转接板生产线设备综合效率分析研究

3.1 OEE分析与改善流程

3.2 N公司转接板生产线OEE相关数据收集

3.3 转接板生产线设备综合效率的计算

3.4 转接板生产设备改善对象的确定

3.5 本章小结

第四章 深反应离子刻蚀机OEE的提升研究

4.1 深反应离子刻蚀机OEE的影响因子分析

4.2. 深反应离子刻蚀机设备综合效率的改善提升

4.3. 改善效果

4.4. 本章小结

第五章 总结与展望

5.1. 总结

5.2. 展望

参考文献

附录

致谢

攻读硕士学位期间发表的学术论文

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